測量參數(shù)：

Ra、Rq、Rz、Rt、Rp、Rv、Ry、RZ(JIS)、RS、RSm、RSk、R3z、Rmax、RPc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

顯示范圍：

Ra、Rq：

0.005μm-16μm

Rz、R3z、Ry、Rt、Rp、Rmax、Rv、Rz(JIS)：

0.02μm-160μm

RSm、RS：

1mm

Rmr：

0-100%(%Rt)

RSk：

0-100%

量程范圍：

±20μm、±40μm、±80μm

最高分辨力：

0.001μm

取樣長度l：

0.25mm,0.8mm,2.5mm,自動

評定長度ln：

1l-5l(可選)

測量行程長度：

3l-7l(可選)

最大驅(qū)動行程長度：

17.5mm/0.71inch

最小驅(qū)動行程長度：

1.3mm/0.052inch

示值誤差：

≤±10%

示值變動性：

≤6%

針尖半徑：

5μm　　

配TS120可測量最小孔徑：

2mm

配TS110可測量曲面最小曲率半徑：

3mm

配TS130可測量溝槽、臺階最大深度：

3mm

配TS131可測量溝槽、臺階最大深度：

10mm

針尖角度：

90°

濾波器：

RC、PC-RC、Gauss、D-P

標(biāo)準(zhǔn)：

符合ISO和GB標(biāo)準(zhǔn),兼容DIN、ANSI、JIS

顯示方式：

128×64點(diǎn)陣液晶

工作溫度：

0-40℃

數(shù)據(jù)輸出：

標(biāo)準(zhǔn)RS232接口,可連接PC機(jī)和打印機(jī)

主機(jī)外形尺寸：

140mm×56mm×48mm

重量：

440g

毛重/凈重：

440g